說明：
薄膜熱電參數測試儀是一臺用來測薄膜材料電導率和塞貝克系數的一體化測試設備，設備具有測試便捷、測試范圍廣、以及智能化數據分析等特點，將薄膜器件的電導率和塞貝克系數測試流程簡化到極致，可在高真空環境下實現100K-400K溫度區間的塞貝克系數和電導率測量。測試系統如下圖所示：? 電導率測試電導率測試采用四線法測量器件的電阻，電源模塊輸出一個設定電流，采用高精度電壓表測量器件兩端的電壓，根據公式 可得到電導率計算公式 ，其中R為器件電阻，L為長度，S為橫截面積。因此需要在軟件中設置器件的長度和橫截面積，軟件即可自動得出材料電導率。測量電路圖如下：圖：電導率測試電路圖? 塞貝克系數測試賽貝克測試中，測試器件跨放在熱端和冷端兩個平臺上，采用電源給熱端和冷端分別加熱，并產生一個溫差，采用測溫儀讀取樣品中間兩點的溫差，然后使用高精度電壓表來測量這兩點之間的電壓，根據賽貝克系數計算公式 計算得到器件的賽貝克系數，測試連接電路圖如下所示： ? 數據分析軟件軟件界面如下所示，軟件分為設置，圖表和數據三個界面，各界面功能介紹如下所示3.1 設置界面：用戶在此界面設置和選擇所有需要測試的參數和功能，界面中包含器件的三維圖，用戶可根據實際器件結構在界面中標注器件厚度、溝道寬度和長度，軟件將自動用于電導率和塞貝克參數計算圖. 用戶設置界面3.2 圖表界面如下所示，主要用于顯示所有測試曲線結果的曲線，測試結束后可一鍵保存曲線圖片3.3 數據界面如下所示，在數據界面顯示所有測試所需查看的數據，并可一鍵生成數據報告? TETF-LN薄膜熱電參數測試儀主要參數指標序號技術參數指標描述1用于測量薄膜材料電導率、塞貝克系數2塞貝克系數測量范圍：100nV/K - 1V/K3高低溫塊溫差調節范圍：1-...